高真空環境への適応

ODUは、リソグラフィにおける高真空環境用コネクタを開発しました。ODUのカスタマイズコネクタの組立用に、制御された環境下での特殊な作業場も併せて開発・設置しました。

あらゆる異物は、コネクタのコンポーネントから排除されます。試験のための組立・清掃からパッケージングに至るまでの全ステップが、この作業場で行われます。

製品を見る